機(jī)型特點(diǎn)：
1、設(shè)備采用超快飛秒激光器具超短脈沖加工，微米級(jí)加工、熱影響區(qū)小。
2、通過(guò)精密振鏡高速高精度控制光束偏移，加工精度優(yōu)于±3μm。
3、通過(guò)高精度直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)平臺(tái)平移實(shí)現(xiàn)大幅面精密加工， 重復(fù)精度高達(dá)±1μm。
4、Z 軸電動(dòng)可調(diào)，以適應(yīng)不同厚度材料，滿足立體結(jié)構(gòu)精細(xì)加工要求。
5、搭載工業(yè)相機(jī)用于振鏡全幅面誤差校正，保證系統(tǒng)長(zhǎng)期使用穩(wěn)定性和精度；同時(shí)， 用于定位和對(duì)焦以及補(bǔ)償夾具、裝夾、工件尺寸誤差。
6、支持 256 個(gè)圖層參數(shù)加工， 支持 dxf、AI、PNG 等矢量和圖片文件加工。
應(yīng)用材料：玻璃、陶瓷、樹(shù)脂、石材、藍(lán)寶石、硅、銅、不銹鋼以及各種合金材料和薄膜材料、高分子材料、復(fù)合材料等。實(shí)現(xiàn)蝕刻、盲孔、通孔、開(kāi)槽、切割等。
應(yīng)用領(lǐng)域：高校研究領(lǐng)域、半導(dǎo)體電子、航空航天、汽車、生物醫(yī)療等。